溢鑫科创
产品列表
研发型印刷电子
工业型印刷电子
微纳米加工
显微镜产品
上海总部:上海市沪青平公路2008号(紧靠明珠路)竞衡大业广场803室
Tel:02139883361 Fax: 02139883361
Mobile: 13636694894
Email:info@micro-nanotech.com
北京分部:北京市海淀区中关村大街11号E世界财富中心961B
Tel:01056145600 Fax:01056145601
Mobile:18801462199
Email:frank.wang@micro-nanotech.com
香港分部:FLAT/RM 1611B 16/F HO KING COMMERCIAL CENTRE 2-16 FA YUEN STREET MONGKOK
新闻资讯
产品中心
您当前位置: 首页 > 显微镜产品 > Cressington 高性能镀金镀碳仪
Cressington 高性能镀金镀碳仪

                   Cressington 108Auto+108C Sputter and Carbon COATER 

 

 

Cressington 108+108C 全自动镀金镀碳联用仪是最先进高质量的镀膜仪系统 ,在保证高性能镀膜同时,不会引起镀金与镀碳的相互污染,提高仪器使用效率以及镀膜精度。

优势说明:

●自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和最佳的导电喷镀效果。
●通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。
●操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
●在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果。
●数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。
●独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约20nm左右进行多次蒸发,无须切削或调整碳棒形状。
●108C Auto中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑,容易操作,抽真空周期短。选件MTM-10高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度。
●使用新型的蒸发装置:电流和电压通过磁控头的传感线监控,蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低,碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。

技术规格:

样品仓尺寸: 120 x 120mm(高) (4.75 x 4.75"),高强度不锈钢结构
样品台:可放置12个标准SEM样品座,高度可在 60mm内调节
溅镀材料:Bradley 型高纯度碳棒 (6.15mm, [1/4"]), Au/Pt
溅镀优点:基于微处理器反馈控制,远程电流/电压感应;提供真空安全联锁装置,最大180A,配有过流保护
溅射控制:微处理器控制,安全互锁,可调,最大电流40mA,程序化数字控制
溅射头:低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩
模拟计量:真空 Atm - 0.01mb  电流: 0 - 200A
厚度监测器: MTM-10高精度厚度监测器(选配)
控制方式:自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(0-300s),自动放气
电源:200-240 VAC, 50/60Hz
功率:1000VA (包括镀碳机和真空系统)

首页 | 关于我们 | 产品中心 | 服务支持 | 新闻资讯 | 诚聘英才 | 联系我们
Copyright © 2016 溢鑫科创集团 版权所有 严谨拷贝 ICP备案号:沪ICP备15022072号-1
上海总部地址:上海市沪青平公路2008号(紧靠明珠路)竞衡大业广场803室 电话:021-39883361 网站建设支持与维护牵紫赫科技