美国GlowResearch公司是美国等离子系统解决方案专业供应商,凭借着多年研发和突破性创新拥有等离子体行业内很高的口碑.其旗下Glow系列, AutoGlow系列广泛应用于全球各大小型生产及研发实验室, 如美国宇航局, 波音,霍尼韦尔,3M, 德国拜耳及全美各大名校及科研院所如哈佛大学, 麻省理工, 莱斯大学, 橡树岭国家实验室, 加州理工学院, 耶鲁大学、乔治华盛顿大学、斯坦福大学等等.

Glow通用型及AutoGlow高性能型多功能等离子体表面处理仪是特别设计用于等离子体处理包括灰化, 清洗, 表面活化, 改性, 刻蚀以及RIE(各向异性及各向同性), 具有功能性多、易操作性强、无需调试、可靠性高、低成本的优点, 广泛应用在半导体制造, 微电子微纳加工, 生命医学器件和样品前处理等.

应用领域如下：