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上海光机所成功安装Microtech激光直写光刻系统
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中国科学院上海光学精密机械研究所经过长期调研做样，在2015年购置Microtech激光直写光刻系统，2016年4月4日到9日，经过5天安装调试和培训，Microtech高性能激光直写光刻系统在光机所获得很好的加工性能。


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