➱ 台式无掩模直写
➱ 业内性价比极高
➱ 多个读写头配置
➱ 简单好用易上手
➱ 全球知名微纳加工中心选择
➱ 直写光刻领域历史悠久品牌
➱ 独特的平行四读写头设计
➱ 灵活可定制化大面积选择
➱ 新一代高速ALD技术
➱ 原位复合ALD+PVD
➱ 原位制备多层纳米薄膜
➱ 可升级PEALD等离子增强
➱ 新一代高速ALD技术
➱ 原位复合ALD+PVD
➱ 原位制备多层纳米薄膜
➱ 可升级PEALD等离子增强
➱ 新一代超高速ALD技术
➱ 原位复合ALD+PVD
➱ 原位制备多层纳米薄膜
➱ 可升级PEALD等离子增强
➱ 磁控溅射镀膜
➱ 有机物低温金属沉积
➱ 电子束蒸镀
➱ 热蒸发
➱ 大于5000mm2/min效率
➱ 可达0.5um刻写线宽精度
➱ 可达0.5um校准对位精度
➱ 最大可加工到12英寸尺寸
➱ 皮秒短脉冲PLD薄膜沉积
➱ 源头遏制微粒及飞溅现象
➱ PulseLion全固态锂电技术
➱ LISA锂硫电池项目技术
➱ Sputter多靶磁控溅射
➱ Evaporator多源热蒸发
➱ PLD激光脉冲沉积
➱ 多种镀膜工艺一体化
➱ 台式对准光刻机
➱ 业内性价比很高
➱ 搭配多个光学物镜
➱ 性能稳定易上手
➱ 基于PDMS制备3D微流控
➱ 实验室科研及产业大规模
➱ 相对传统2PP性价比很高
➱ 广泛应用微电子及生物
➱ 等离子清洗，活化，改性
➱ 桌面式设计性价比高
➱ 性能稳定做工优良
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➱ 基于玻璃3D复杂微器件
➱ 加工精度小于1um
➱ 表面精细度优于10nm
➱ 深宽比优于500比1
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