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台式Maskaligner对准光刻机
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自21世纪以来，由半导体微电子技术引发的微纳米加工时代依赖于微纳米尺度的功能结构与器件，实现功能结构微纳米化的基础是微纳米加工技术。

台式Maskaligner对准光刻机打破了市面上传统激光直写设备高昂价格壁垒，是现阶段市面上高优性价比的对准光刻机；无需预热长寿命冷LED光源，很低散度和很高均匀性，内置同轴全高清校准数字显微镜，高品质电子晶圆压力和间隙控制，基于测微计的XYR晶圆对准台，多个物镜头灵活切换使用。

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