Cressington 108 SPUTTER COATER 英国Cressington离子溅射镀膜仪
Features优势说明:
Specification技术规格:
样品仓尺寸 | 120 mm x 120mm, 高强度不锈钢结构 (可选150mm) |
样品台 | 可放置12个标准SEM样品座,高度可在 60mm内调节 |
溅镀优点 | 基于微处理器反馈控制,远程电流/电压感应;提供真空安全联锁装置,最大180A,配有过流保护 |
溅射控制 | 最大电流40mA,程序化数字控制 |
溅射头 | 低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩 |
模拟计量 | Atm - 0.001mb |
靶材 | 金,铂,金/钯,铂/钯, 银等 |
溅射速率 | 优于40nm/min (金靶) |
膜厚监控仪 | MTM-10高精度膜厚监控仪(选配) |
工作电压 | 220V, 50/60HZ |
适用配套 | FEI, Phenom, Zeiss, JEOL, Hitachi, Tescan等扫描电镜系统 |