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Cressington 108高性能离子溅射仪

Cressington 108 SPUTTER COATER  英国Cressington离子溅射镀膜仪

Features优势说明:

  • 源自1973年英国先进的电镜配套镀膜工艺,60多年专业技术及全球8000名科研工作者的信赖;
  • 专利的低压直流冷态溅射镀膜,避免样品微纳结构的热损伤和热变形;
  • 专利的回路控制保证了溅射电流不受压力影响而始终固定不变,保证均匀一致的膜厚和最佳的镀膜效果;
  • 可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果;
  • 操作容易快捷,自动或手动模式,靶材快速更换;
  •  

       

      Specification技术规格:

      样品仓尺寸

      120 mm x 120mm, 高强度不锈钢结构 (可选150mm

      样品台

      可放置12个标准SEM样品座,高度可在 60mm内调节

      溅镀优点

      基于微处理器反馈控制,远程电流/电压感应;提供真空安全联锁装置,最大180A,配有过流保护

      溅射控制

      最大电流40mA,程序化数字控制

      溅射头

      低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩

      模拟计量

      Atm - 0.001mb

      靶材

      金,铂,金/钯,铂/, 银等

      溅射速率

      优于40nm/min (金靶)

      膜厚监控仪

      MTM-10高精度膜厚监控仪(选配)

      工作电压

      220V, 50/60HZ

      适用配套

      FEI, Phenom, Zeiss, JEOL, Hitachi, Tescan等扫描电镜系统

       

 
备注:为保证销售渠道正规,配套方案先进及统一的市场管理和售后服务,英国cressington在各个国家都只设唯一授权代理,中国官方授权总代为:溢鑫科创Yi Xin Technology详细信息请参考英国原厂官方网址:
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