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Cressington208HR超高分辨镀膜仪

Cressington 208HR  SPUTTER COATER 超高分辨溅射镀膜仪

分子泵超高分辨镀膜,放大倍率可到30-60万倍也不会看到镀膜颗粒,适用于现阶段超高分辨场发射或双束电镜使用如FEI Nova,Megglen,Verios,Helios等; Hitachi SU8000,SU8200,S4800,9000等; JEOL 7600F 7800F等; ZEISS Merlin,Ultra,Auriga; 

Features优势说明: 

• 专利磁控冷态喷镀

专利冷态镀膜设计使用真正的“平衡磁控管”没有等离子体电流在样品, 避免样品受到热损伤,对热损伤或辐照损伤敏感样品尤为适合;

•广泛的镀层靶材选择

特殊双极磁控管头设计和有效的气体离子处理使得208HR拥有广泛多种镀层靶材选择;

• 全自动化设计

自动的换气与泄气功能,溅射电流和电压通过磁控头的传感线监控,蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制保证了均匀一致的膜厚,和最佳的导电喷镀效果;

• 超高精度膜厚监控设计

标配MTM-20全自动高分辨膜厚监控仪可优化设计镀膜条件达到0.1nm膜厚可控效果;

• 多用途样品托设计

独立的旋转, 水平和倾斜 3轴移动设计优化了多样品以及不规则样品的均匀一直镀膜;

• 可变的样品室几何设计

为了优化镀层结构样品室几何设计可用于调整喷镀速度从1.0nm每秒到0.002nm每秒;

• 广泛的操作气体压力

独立的电压, 电流以及压力回路控制系统允许可操作氩气压力从0.2-0.005mbar真空度.

 

 

Specification技术规格:

 

样品仓尺寸

 150mm 直径, 可调高度: 165mm - 250mm, 高强度不锈钢结构

溅射管头

低电压平面磁控管, 靶材更换快速, 环绕暗区护罩

溅镀优点

基于微处理器反馈控制, 远程电流/电压感应; 提供真空安全联锁装置, 最大180A, 配有过流保护, 数字化可选电流(最高80mA)

喷镀靶材

Cr, Pt/Pd, Pt, Au, Au/Pd, Cu, Ni, Pd, Pt, Ta, Ti, W等

样品台

可放置12个标准电镜样品座, 0到90度倾斜可调的旋转水平样品台

真空系统

标配无油分子泵真空, 极限真空优于10-6 mbar,附带减震台的桌面式真空泵设计, 全金属耦合系统

控制方式

自动喷镀, 自动卸真空自动进气功能, 使用可编程电压控制和计时数字计时以及暂停设计, 全自动真空监测系统

膜厚监控仪

6MHZ晶体监探器, 每秒5次实时监控, 分辨率:优于0.1纳米

备注:为保证销售渠道正规,配套方案先进及统一的市场管理和售后服务,英国cressington在各个国家都只设唯一授权代理,中国官方授权总代为:溢鑫科创Yi Xin Technology详细信息请参考英国原厂官方网址:
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