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美国EMS150R/150T溅射镀膜仪

                                          

 

EMS 150/300是一款多功能紧凑型镀膜系统, 对于SEM, FESEM,TEM样品制备及其它镀膜应用非常理想, 直径为165mm/300mm的腔室可容纳多种需要镀导电膜的样品, 尤其在配套电镜应用中提高成像质量提供6个版本的仪器:

EMS150R S Plus – 喷金仪/离子溅射仪(真空喷镀非氧化型金属,  Au, Pt, Pd等)
EMS150R E Plus – 喷碳仪/碳蒸镀仪(真空喷镀碳膜, 特别适用于EDS,EBSD)
EMS150R ES Plus–真空镀膜仪( 集150R S和150R E功能于一体, 结构紧凑)

EMS150T S Plus– 高真空离子溅射仪(分子泵超高真空, 多靶材,  Cr, W, Cu, Pt等)

EMS150T E Plus– 高真空碳蒸镀仪(分子泵超高真空适用于TEM/Cs-TEM使用)

EMS150T ES Plus–高真空镀膜仪( 集150T S和150T E功能于一体, 结构紧凑)

EMS300R T–超大样品室多溅射头镀膜仪( 300mm超大样品室,3个溅射头保证大面积均匀镀膜效果)

 

 

150R是一款多功能紧凑型机械泵抽真空镀膜系统,对于SEM样品制备及其它镀膜应用非常理想。直径为165mm/6.5”的腔室可容纳多种需要镀导电膜的样品 – 尤其用于在SEM应用中提高成像质量。

150R S Plus
机械泵抽真空离子溅射镀膜仪,适于给样品镀制不氧化金属膜(即贵金属膜),如金、银、铂和钯。 
150R E Plus
机械泵抽真空蒸发镀碳仪,使用碳丝或碳绳为SEM样品镀膜。 
150R ES Plus
集150R S Plus 和150R E Plus两者的功能于一体,节省空间。这个双重用途、结构紧凑、机械泵抽真空的镀膜系统标配有溅射插入头和碳丝蒸发插入头 – 可提供无与伦比的多用途镀膜。 
此外,辉光放电选项也是可用的(仅150R S Plus和150R ES Plus版本),它可实现样品表面改性(如疏水表面改为亲水表面)。 
快速简便:快速、易更换的镀膜插入头,能在同一个紧凑设计中实现金属溅射、碳蒸镀和辉光放电三者之间的快速转换。
采用全自动触摸屏控制,可快速输入数据。与镀膜处理方法及镀膜材料相适配的镀膜参数方案可通过触摸按键实现预设并储存。自动放气控制功能确保了溅射期间最佳的真空状态,可提供良好的一致性和可重复性。 
易使用:智能识别系统可自动探测安装了何种类型的镀膜插入头,以便立即运行相应的镀膜方案。可存储多个用户自定义的镀膜方案 – 这对于需更改镀膜参数实现不同应用的多用户实验室非常理想。多种样品台组件适用于各种尺寸和类型的样品;所有样品台都带有快速、易更换及落入式设计的特点。 
功能强大、可重复镀膜及高可靠性:可预编程的镀膜参数及方案能确保一致且可重复的结果。需要沉积厚膜时,本系统提供长达60分钟且无需破真空的溅射时间。设计先进的碳蒸镀插入头操作简单,具有对蒸发电流参数的完全控制,确保了SEM应用中一致的和可重复的碳沉积。可选的膜厚监控附件用于可重复的膜厚控制。 
适配性强且用途广:溅射、碳蒸镀、辉光放电插入头及多种可选件,使Q150R对于多用户实验室应用非常理想。可溅射一系列不氧化金属,如金、银、铂和钯。碳丝蒸镀插入头处理样品速度非常快。也可选用碳棒蒸发。还可应用于金属薄膜研究及电极的应用。


仪器尺寸

585mm(W) x 470mm(D) x 410mm(H)

包装尺寸

725mm W x 660mm D x 680mm H (36.8kg)

工作腔室

硼硅酸盐玻璃 Q150:152mm x 127mm H   Q300:300mm x 127mm

安全钟罩

聚乙烯对苯二酸,柱形

显示屏

彩色液晶320 x 240

用户界面

直观的图形界面,触摸键。记忆功能:维护提醒及最后十个镀膜方案日志记录

重量

28.4Kg

样品台

直径为50 mm的旋转样品台,上有6个样品座,可配15mm, 10mm, 6.5mm或者3.1mm样本座,转速为8-20rpm

真空泵

Edwards RV3 50L/s两级真空泵,Pirani 真空计

极限真空度

洁净系统可达 2x10-2 mbar,充氮气

喷镀真空范围

3 x 10-2 -5 x 10-1mbar

安培计

碳绳:0-60 Amps,1.4mm ?碳棒:1-90 Amps


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